產品特點

采用提拉法、導模法、物理氣相傳輸法、液相法等生長工藝，在真空或高壓工況下，采用電阻/感應等加熱方式，配合精密的機械傳動機構，精準的溫度控制技術和自動化的控制程序，從而生長出各種人工晶體材料。

?  工作壓力：真空或高壓

?  最高加熱溫度：≥2000℃

?  加熱形式：電阻或感應

?  控溫精度：≤±0.5℃

?  配套流場和溫場仿真計算

?  集成化設計，自動化程度高

?  可根據客戶需求進行定制化設計

可提供產品：

u  藍寶石長晶爐

u  磷化銦多晶合成爐

u  磷化銦單晶生長爐

u  砷化鎵長晶爐

u  碳化硅長晶爐

u  氧化鎵長晶爐